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气压半悬浮二自由度共基面运动工作台

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种高速大行程的气压半悬浮二自由度共基面运动工作台，包括基座、X轴运动模块、Y轴运动模块和X、Y位置检测装置。Y轴运动模块由Y向旋转电机通过Y向丝杠螺母驱动，并由直线导轨导向，直线导轨固定于基座之上。X轴运动模块位于Y轴运动模块之内，由X向旋转电机通过X向丝杠螺母驱动，工作台底面紧贴基座。其Y轴运动模块和X轴运动模块安装在同一基座之上，组成工作台与两运动轴等高的二自由度共基面的...
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