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手机声表用超薄还原钽酸锂晶片

2014年

应用技术

中期阶段

成果简介

钽酸锂( LiTaO3：LT)晶体具有优异的压电、热电、光电等性能，是十分重要的多功能晶体材料，特别是作为压电晶片材料，广泛用于制造声表面波（SAW）和体波器件（BAW）。LT晶体较大的压电系数可以制作低插入损耗的SAW滤波器，但是光透过和高热释电等性能也给SAW器件制作工艺带来很多不便。LiTaO3晶体的热释电系数为3 10-5C/m2·K。在SAW或BAW器件生产过程中，高热释电系数使...

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