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薄膜厚度的高精度全场测试技术研究

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
光学薄膜已广泛应用于民用激光系列产品及军事武器装备生产中。在光学薄膜的主要光学参数中，针对薄膜的反射比、透射比等技术的研究目前已经比较完善。而对于大口径全场薄膜厚度的高精度检测目前还没有一套比较完善的检测系统，而薄膜厚度参数对薄膜的设计和工艺制造都是不可缺少的，只有解决了薄膜厚度的高精度测试问题，才能解决性能优越的薄膜的制备问题。
本成果重点研究了傅里叶变换(FFT)和...
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