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线锯HCT多晶硅片结构线切割技术研究

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
硅片切割技术从最初的内圆切割技术到最新的金刚线切割技术，随着行业技术的不断发展而不断进步。目前多晶硅片切割主要采用自由磨料的多晶切割方式，而单晶硅片切割技术正在逐步向金刚线切割技术过度。多晶硅和单晶硅由于其生长过程的差异导致成型后多晶硅存在晶界，而晶界的存在对后续的硅片切割影响较大，这就导致了在多晶硅片的金刚线切割存在很大质量问题和成本劣势。在金刚线切割技术不能很好的引入到多晶切割技术的情...
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