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锡掺杂的氧化铟薄膜及微细图形制备工艺

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种锡掺杂的氧化铟薄膜及微细图形制备工艺，将硝酸铟和四氯化锡加入乙酰丙酮溶剂中，然后加入去离子水，制得溶液A；苯酰丙酮为螯合剂加入乙二醇甲醚溶剂中，制得溶液B，将溶液A、B混合，搅拌、沉化，得到感光性锡掺杂的氧化铟溶胶。将高压汞灯或紫外激光通过具有微细图形的掩模，照射锡掺杂的氧化铟凝胶薄膜，在大气环境下紫外光照射，去掉掩模，然后在无水乙醇中放置，未被紫外光照射的部分被溶解，经照...
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