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一种氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜制备工艺，仅使用惰性气体氩气作为载气及稀释气体，以目前国际通用的化学气相沉积炉作为复合氧化物薄膜制造设备，能够制备出比例可调的氧化铝-氧化硅复合氧化物薄膜，制备温度约500～800℃，可用于制备对氢气有强渗透性的薄膜、金属表面耐磨涂层以及非氧化物陶瓷基复合材料防氧化涂层。...
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