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单片集成光器件关键技术研究

2005年

应用技术

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成果简介

本项目是武汉市技术创新与产业化重大专项攻关课题《单片集成光器件关键技术研究》（项目编号：20021005130-12）该项目采用了商用ALDS、APSS软件和Matlab为基础的自主开发软件建立了一套集模拟仿真与CAD功能于一体的光电集成器件设计软件平台；该项目根据光电集成器件软件设计平台，在软件设计优化的基础上，开发了包括MOCVD外延、光刻、腐蚀、光栅等各道工艺的RWG、DC-PBH类...

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