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N-甲基毗咯烷酮与Y-丁内酷的提纯方法

2013年

应用技术

初期阶段

成果简介

所开发的处理净化工艺具有工艺简捷、操作简单、成本较低等特点，能有效降低产品中金属离子和颗粒物含量。产品经有关专业部门检测，产品中单个金属离子含量均低于10PPb，颗粒含量为≥0.5?m的颗粒个数为4.8个/ml，达到国际半导体设备材料产业协会（SEMI）C8.11-0698标准的要求。
所开发的处理净化工艺具有工艺简捷、操作简单、成本较低等特点，能有效降低产品中金属...

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