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用新型CVD技术生产RJ-G高耐磨石墨结晶器的研究

2004年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

该项目的主要目的是利用高新技术改造传统产业。用新型CVD技术生产RJ-G高耐磨石墨结晶器产品。
主要工艺路线：石墨基体的定制－机械加工－待涂表面的预处理－CVD涂炭热处理－产品。具体技术是采用化学气相沉积的方法（CVD）,使用自主设计的先进的非流态化床新型热解沉积炉，采用特殊的加热方式，并对其工艺(包括温度、系统压力、碳氢分压、气体流量、气体的滞留时间等)进行优化控制...

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