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高稳定性碳化硅/硅纳米孔柱阵列气体传感器研究

2013年

应用技术

初期阶段

成果简介

“高稳定性碳化硅/硅纳米孔柱阵列气体传感器研究” 系河南省郑州轻工业学院博士科研基金（No.2012BSJJ008）资助课题。
按照立项计划，本项目通过高温碳化和CVD技术在硅基衬底Si-NPA上制备SiC纳米晶和SiC纳米线薄膜，以SiC纳米材料为介质层，研究SiC/Si-NPA传感器的电容和表面电阻随着吸附气体浓度变化而改变的性质。本项目的目的为研制出一种高灵敏度、...

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