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纳米钛的尺度效应及其对性能和应用的影响研究

2013年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
主要研究成果如下：
(1)研究了背景真空度，溅射电流对磁控溅射纳米晶钛薄膜的影响，测量了其薄膜厚度，标定溅射速率，分析了其择优取向。建立了纳米晶钛薄膜的生长模型，五个个阶段分别为：成形阶段，自由生长阶段，优先生长阶段，连续生长阶段和快速生长阶段。不同基底温度的纳米晶钛薄膜进行退火实验，发现退火温度的高低与退火时间的长短对纳米晶钛薄膜的微观结构影响很小，这说明了本课题中制...
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