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基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于光刻机空间像的波像差检测的基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法，本发明的优点在于根据空间像传感器角度响应的特点，给出了一种有效的基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法，本发明通过空间像传感器角度响应的测量，精确地建立空间像传感器角度响应模型，可以有效地提高基于空间像的波像差检测技术的求解精度与求解重复性。...
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