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延长焦深的并行激光直写装置

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种延长焦深的并行激光直写装置，特点在于其构成包括：输出平面激光束的激光器，沿该平面激光束方向依次是1×N达曼光栅、第一透镜、振幅型空间滤波板、第二透镜、反射镜、孔径光阑、延长焦深相位延迟板、聚焦物镜、自聚焦伺服系统和二维移动平台。本发明装置可以显著提高激光直写装置的加工速率，可以明显降低对聚焦伺服系统的要求，进一步提高了激光直写速率和增大了激光直写的光刻面积。在低成本、高速大面积激光直写...
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