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电子束装置的国际标准及关键技术研究

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
为解决电子束和离子束装置设计中的关键技术和工业化标准，形成的系列成果如下：
1、 研究了离子源引出系统特性，建立了系统设计规范、提出了求解泊松方程自洽解的快速计算方法；建立了系统全局优化设计理论；开发了辅助镀膜用冷阴极和离子注入用金属离子源，解决了工程物理研究院、48所、清华大学、上海交大等院校的科研急需，产品已连续工作十几年。
2、 提出利用非均匀...
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