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大面积氧化物薄膜材料的微纳结构可控制备、光电性能调控与应用

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
紧密围绕高载流子浓度和霍尔迁移率的氧化锡、氧化钛等氧化物薄膜的微纳结构、可控生长和性能调控等科学问题深入开展应用基础研究，以节能低辐射玻璃、平板显示、太阳能电池等应用为目标，开展大面积镀膜关键技术的研究。利用金属有机化合物化学汽相沉积（MOCVD）方法，开发了实现其纳米晶粒—微米颗粒（新型微纳结构）尺寸调控和取向生长的规模化技术，成功制备了光电性能符合实际应用要求的多种功能氧化物薄膜，主要...
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