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多晶硅生产中再生废气的提纯利用技术

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本成果是一项应用于多晶硅行业的创新技术。在原有的还原尾气干法回收工艺基础上，整合了加压冷凝技术、变温吸附技术（TSA）和变压吸附技术（PSA），建立了一套新的工艺路线，有效降低了多晶硅生产成本、降低了产品氢气杂质含量、提高了物料利用率，有着显著的经济效益，同时又是一个环境友好，节能减排的项目，有着很好的社会效益。




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