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高出光率的GAN基光子晶体LED的研制

2013年

应用技术

中期阶段

成果简介

本课题围绕提高GaN基器件的内量子效率和外量子效率，引入具有微纳结构的光子晶体，结合辐照增强工艺，开展光子晶体LED器件研究，包括器件的理论分析和工艺研究等内容。
本课题研究的主要创新点在于：1.建立了光子晶体结构GaN材料LED器件模型，利
用导波模方法模拟分析了光子晶体结构LED的光传输特性和光辐射场分布。2.使用紫外
曝光工艺和干法刻蚀技术...

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