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3000~3125A/8000V光控晶闸管

2012年 应用技术
  • 成果简介
  成果属于特高压直流输电技术领域。
  研究内容:对高阻高均匀性硅单晶片进行高均匀性、高寿命、选择性的深扩撒掺杂实现纵-径向分布的精确控制;优化设计光刻版图实现中心光敏、BOD、开通功率均布、正向过电压及过电压上升率自触发保护功能集成,并仿真本底电阻率、掺杂工艺及版图尺寸综合效应以精确调控BOD电压;研究特高压LTT结终端结构及欧姆接触类型;研究结终端结及欧姆接触制造工艺与中心功能集...
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