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高纯超净氨的纯化技术和规模化生产技术

2005年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1、课题来源背景
高纯超净氨(纯度＞99.9999%)是金属有机化合物化学气相淀积（MOCVD）技术生产第三代化合物半导体材料氮化镓(GaN)的关键支撑材料。MOCVD技术制备GaN，要求所使用的氨必需高纯超净，其纯度水平为6N(99.9999%)。长期以来，我们国家一直依赖进口产品，制约国内氮化镓(GaN）产业的发展，为了实现光电子材料的国产化，2001年科技部863...

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