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3000~3125A/8000V光控晶闸管

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
通过自主创新,促进国产高阻高均匀硅化腐片、金属宝石套钳陶瓷管壳的开发,研究特高压光控晶闸管最佳物理结构、专有制造工艺。解决的技术难题有:原始硅单晶材料参数优化选择及技术规范的相关验证;灵敏光触发—过压自保护触发—开通限流功能集成技术;杂质浓度梯度反型低工艺流程设计;中心对称P型径向变掺杂中心功能区及边缘终端区杂质分布计算机仿真模拟;正角—低掺杂类台面双向阻断晶闸管结终端;扩散光刻工艺参数—...
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