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DRF-450型多晶硅浇铸设备

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　该产品属于高新技术领域中的“四、新材料技术（一）金属材料6、半导体材料”生产技术，被列为2007年江苏省重大科技成果转化项目，2011年被江苏省认定为重大关键首台（套）设备。在科学技术领域属于专用电子机械设备。
　　本产品是一种直熔法多晶铸锭炉，其原理在于，在惰性气体保护下，通过石墨加热器加热将石英坩埚中的多晶硅原料熔化，然后，通过程序控制，保证由下而上均匀凝固，直至全部凝固，完成...
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