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一种气体的安全输送方法

2012年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
随着近年来国内半导体、微电子、平面显示、发光二极管行业的迅速发展，国内对各类特气的需求日益增加。由于在这些特气中有相当一部分为危险性气体，例如硅烷具有自燃性、磷烷具有剧毒性等。因此需配置专门的阀门来控制阀门的吹扫。
传统的产品多采用手动阀门来控制，具有以下潜在缺陷：
1、在出现气体泄漏等危险情况下需要手动来关闭阀门，对于操作人员有极大的危险性；同时，...
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