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用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法，其特点在于该方法包括下列步骤：①计算位相单元的尺寸l；②光学位相板分区大小d的选取；③入射光束和确定所需光束的光强分布并进行矩阵化处理；④对位相板中一个分区的初始位相赋值；⑤采用迭代算法并进行离散化处理，得到该分区的位相分布；⑥逐一对每一个分区重复步骤④和步骤⑤，得到每个分区的位相分布，并组合在一起得到整体位相分布；⑦设计结果的评估。本发明设计...
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