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12英寸掺氮硅单晶

2008年 应用技术
  • 成果简介
　　以超大规模集成电路为核心的微电子工业、信息产业对国民经济、国防和科技的现代化起着举足轻重的作用，随着它的高速发展，迫切地要求其基础材料硅晶片达到大直径和无缺陷或缺陷可控。在今后的10年中，12英寸的硅单晶和集成电路是微电子工业的主要发展方向。在国家“863”微电子配套材料重大专项的支持下，已研制成功国际先进的超大规模集成电路用12英寸硅单晶，并可以产业化转让。所需经费：6亿。...
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