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硅蓝宝石压力传感器

2012年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
硅蓝宝石压力传感器，无内引线结构，抗过载40g至2000g。无泄漏，高可靠，大信号，高绝缘，高响应频率，接触被测介质材料为钛合金，抗腐蚀性能优良，有非常好的线性，即精度在±0.1%F.S以上。
硅—蓝宝石压力传感器，是得益于上世纪70年代欧美对高频电子器件的研究。利用蓝宝石单晶的晶格常数与单晶硅的晶格常数非常接近特性，在蓝宝石上异质外延生长单晶硅，用来制造高频集成电路器...
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