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激光薄膜损伤特性及测试方法研究

2012年

应用技术

中期阶段

成果简介

该项成果涉及薄膜激光损伤阈值测试方法，分析了目前应用的各种测试方法的适用条件和应用范围，结合薄膜材料和制备技术确定出适用于本项目的测试方法。重点研究了He-Ne散射光强法的散射光强分布规律，为检测器的空间方位放置确定了理论和实验依据。通过研究非平衡磁控溅射（UBMS）和脉冲真空电弧（PVAD）技术制备的类金刚石（DLC）薄膜的激光损伤特性，获得了DLC薄膜的最佳制备技术和沉积工艺条件。采用...

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