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低温ITO透明导电薄膜的研制

2012年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　低温ITO透明导电薄膜的研制项目以有机透明PET片为基片材料，在氧、氩混和气氛下，采用直流磁控溅射ITO陶瓷靶的低温镀膜工艺技术，研究了氧氩比、溅射气压、溅射速率、基片温度、薄膜厚度、靶材等对薄膜性能的影响，从而找到改善低温ITO透明导电薄膜光电特性的有效途径和最佳工艺条件。在PET基片上制备出电阻率最低达到1.12×10－4 Ωcm、可见光透过率85% 以上的低温ITO透明导电膜。该项目中的...

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