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高精度半导体致冷晶片热喷处理与线切割工艺研究

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
项目利用乙炔热源燃烧火焰等将丝状金属镍丝加热到半熔融状态，借助压缩空气以一定速度喷射到预处理过的半导体晶片表面，沉积而形成具有导电、抗氧化、防止金属扩撒功能的表面涂层的一种技术。其原理是：热喷涂枪由燃料气供必需的热量，将热喷涂镍丝加热到塑态或熔融态，再经受压缩空气的加速，使受约束的颗粒束流冲击到半导体晶片表面上。冲击到表面的颗粒，因受冲压而变形，形成叠层薄片，粘附在经过制备的半导体晶片表面...
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