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高性能静电感应器件物理机理、结构及工艺研究

2012年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本自选项目深入研究了静电感应器件(SID)物理理论及提高SID特性的新型结构及研制工艺。项目研究分为三大部分：第一部分是SID结构特点、作用机理，电特性与工艺参数之间关系的研究；第二部分是对以SID电流控制机理及静电感应晶闸管(SITH)负阻转折特性为重点的SID器件物理的深层次研究；第三部分是提高SID性能的结构及实现工艺的研究。
本项目的研究特色及创新之处：

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