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微米/纳米复合加工技术

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
围绕纳尺度点、尖、柱、梁、膜、间隙及通道等基础构件及其组合的器件结构展开研究，突破实现纳机电效应的关键制造工艺，结合传统微加工工艺方法，建立面向跨微纳尺度机电功能结构的微米纳米复合制造工艺，建立微米纳米复合制造平台，为微米纳米机电器件的应用准备了加工技术条件：
—突破了多材料、多方面、多样性的纳米尺度结构加工的关键新工艺方法，发明了聚焦离子束应力引入技术，发展了新型侧墙...
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