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三氯氢硅中痕量磷、硼的测定

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

氯化氢合成的反应式为：
H2+Cl2→2HCl
三氯氢硅合成的基本反应式为：
Si+3HCl→SiHCl3+H2
在三氯氢硅合成过程中，氯化氢的转化率一般为80﹪，有约20﹪的氯化氢未参加反应。合成后的三氯氢硅气体混合物，经-35℃冷凝器以及加压后经-35℃冷凝器冷凝后，尚含有约1﹪的三氯氢硅未能冷凝下来。尾气...

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