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面向亚毫米尺度微小器件作业的微操作机器人关键技术研究

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本项目属于精密制造领域，面向光电制造、微电子封装、惯性约束核聚变等领域对微构件操作技术的需求，开展典型微尺度构件操作的关键技术和设备研究。建立了典型微尺度构件粘着作用模型；针对采用夹持方式时由于粘着作用微对象难以释放问题，提出采用复合振动的方式实现微对象释放的操作方法和基于粘着力控制的微构件拾取-转移-释放方法；研制了集成化、小型化压电陶瓷驱动微定位平台和硅基静电驱动平台；研制了基于夹持和吸附...
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