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感应加热钼坩埚下降法生长高光学质量、大尺寸蓝宝石晶体的制备技术

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　作为高亮度LED外延衬底材料等高端应用的蓝宝石晶体要求高光学质量，对晶体的内部质量要求比较高。从生长的晶体质量性能来看，目前能满足高亮度LED基片等高端应用的蓝宝石晶体的生长技术，国内外普遍采用铱坩埚感应加热提拉法和泡生法。本项目依据高温熔体铱坩埚感应提拉法和石墨电阻加热钼坩埚下降法生长蓝宝石晶体的原理和特点，创新开发了一种感应加热钼坩埚下降法的蓝宝石晶体生长技术，该技术在原理、应用、技术、工...
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