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尘埃等离子体非线性波动理论研究

2011年 基础理论
  • 成果简介
尘埃等离子体是由通常的等离子体及悬浮在其中的尘埃颗粒组成的复杂系统。它广泛地存在于地面上各种气体放电过程中以及星际空间中。研究尘埃等离子体的产生以其物理特性对等离子体技术在半导体芯片加工、磁约束核聚变、空间探测等领域中的应用有着极其重要的参考价值。微电子器件制造的等离子体刻蚀工艺中，带电尘埃颗粒会严重污染晶体表面，因此被称为“杀手粒子”。在磁约束聚变装置中，边缘等离子体与第一壁产生的大量尘...
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