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120纳米NOR型闪存技术与工艺开发

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　本项目属于超大规模集成电路制造技术及工艺的研究，是国家重大专项的重要组成部分。
　　120纳米NOR型分离栅闪存的研发成功不仅保持和深化了分离栅闪存的技术和市场优势，而且使国内深亚微米NOR型闪存的研究和生产达到国内领先水平。
　　项目进行过程中开发了大量新工艺、新方法，实现了多方面的原始创新，已获得授权的发明发明专利24项，该产品目前主要应用在计算机、手机、消费电子、...

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