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用于铝酸锂晶体材料的高精密平坦化方法

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　一种用于铝酸锂晶体材料的高精密平坦化方法，其特征在于该方法包括下列步骤：①用碱性SiO2抛光液进行化学机械抛光，对(100)面和（302）面的 -LiAlO2晶片进行化学机械抛光；②清洗；③在空气气氛下低温快速退火，退火温度为750～850℃，退火时间为15分钟～1小时。本发明可以得到表面粗糙度RMS值＜0.4nm的铝酸锂晶片。本发明具有低成本、高精度的优点。...

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