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一种集成有增透膜的碲镉汞红外焦平面

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　一种集成有增透膜的光伏型碲镉汞红外焦平面，它由增透膜、带有铟柱阵列的碲镉汞芯片、衬底、带有铟柱阵列的信号读出电路、键压引线、聚氨酯改性环氧树脂和宝石片引线基板构成。该红外焦平面的增透膜是在保持模块结构的情况下，采用磁控溅射制备方法，通过工艺参数优化，低温生长在3.5～5μm具有良好的增透射特性的增透薄膜。该结构中增透薄膜与碲镉汞红外探测器芯片衬底表面有很好的附着性，在高低温度变化过程中不脱落不...
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