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一种康芒法大口径平面镜检验集成装置

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　一种康芒法大口径平面镜检验集成装置，包括：本体上固联球面镜支架，同时载物台安放有平面镜支撑转台－支架系统，同时可以360°自由回转的高精度转台。整个结构从侧面看呈“L”形；平面镜支撑转台，其转轴与载物台转轴共轴；载物台及其载荷通过滚珠导轨卸载安放到基座上；载物台由蜗轮的主轴带动；蜗轮蜗杆系统由电机提供动力；编码器提供位置反馈信号，与电机构成闭环系统，控制载物台的位置。本发明的优点在于：省去了平...
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