首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

微机电系统（MEMS）制造技术研发

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本项目的研究解决了基于产品化的MEMS制造技术中的多项关键工艺，提高了国内MEMS器件加工制造技术水平，为国家相关研究项目的完成提供了较好地工艺技术制撑，吸引了全国10多个高等院校和科研院所进行MEMS芯片工艺开发，为国家863计划、国家基金项目、地方科技项目等相关研究项目的完成提供了较好地工艺技术支撑。通过本项目研究，共发表相关论文4篇，申请发明专利4项，产生了良好的社会效益。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统