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化合物半导体单晶生长用关键石英器件制备技术

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
项目概况
（1）目标产品概况
项目产品属新材料－无机材料领域研发项目。
目标产品：化合物半导体晶体生长用石英器件（由石英管、石英坩埚、支承件、封帽等组成）。
主要用途：主要用于Ⅲ～Ⅴ或Ⅱ～Ⅵ化合物半导体材料，如大直径砷化镓、磷化镓、磷化铟等，以及锗和硅等单晶的生长与制备。
重要意义：由于我国...
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