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TDR-150型单晶炉(12英吋MCZ综合系统)

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

按照合同的规定，由西安理工大学和北京有色金属研究院共同承担的TDR-150型单晶炉（12英寸MCZ综合系统）的课题任务，其主要研究内容为：研制出适应于我国满足线宽0.13～0.10微米、超大规模集成的技术需求的12英寸集成电路用硅单晶生产设备。
本课题所研制的150型单晶炉生长12英寸硅单晶在国内尚属首例。课题组在大量研究和实验基础上，研制成功了TDR-150型单晶炉。...

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