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金刚石膜超高速抛光基础理论研究

2011年 基础理论
  • 成果简介
本项目在国家自然科学基金的资助下提出并开展了金刚石膜超高速抛光基础理论研究。开发了金刚石膜超高速抛光新方法，利用金刚石膜与铁、钛等金属抛光盘超高速相对运动产生的摩擦热，在金刚石膜与抛光盘接触浅表层建立碳原子的扩散环境，从而实现金刚石膜的抛光。同时，在抛光盘上方设置化学活性很强的稀土金属（如镧、铈）盘，以摩擦表面高温激发稀土金属对碳的化学活性，实现稀土金属在线清除扩散到抛光盘表面的碳原子，以...
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