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大型半导体制造企业全生命周期、动态、精细化设备维护方法研究及应用

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
目前大多数的维护方法针对的是一种设备，而不管其处在生命周期的何种阶段都采用相同的维护方法。然而处于不同生命周期阶段的设备和生产线存在不同的故障模式及危害，但目前对同类设备采取相同的PM策略并没有考虑到这些不同带来的影响，故而最终根源性地导致了设备在做完PM之后性能差异很大。“大型半导体制造企业全生命周期、动态、精细化设备维护方法研究及应用”正是在这样的背景下，由英特尔产品（成都）有限公司根...
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