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添加性能良好的原料硅块及其制备方法的研究

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
高纯晶体硅料已经广泛应用在半导体、太阳能和集成电路行业中。硅料制造厂生产的高纯硅料主要有两种形态，块/棒状和粗颗粒状。其中，粗颗粒状的硅料一般是在化学气相沉积中采用流化床工艺制备的，这些颗粒的直径一般在几百微米到毫米级。在粗颗粒的流化床生产工艺中，也可以产生颗粒极其细小的硅粉（尺寸范围是亚微米至数百微米），这些硅粉作为伴随粗颗粒硅的副产物存在。
上述硅粉纯度较高，但因其...
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