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激光陀螺超精密光学元件的超光滑抛光技术研究与开发

2011年

应用技术

中期阶段

成果简介

该项目通过实验研究，提出了一种基于“机械-物理-流变”原理的超光滑抛光工艺技术。采用该工艺成功开发了规格为φ26mm的熔石英激光陀螺超精密光学元件，产品表面粗糙度（RMS）≤0.1nm，光洁度（B）达到Ⅰ级，面形PV达到λ/20。项目核心技术已申请两项国家发明专利。
项目通过研究不同配方的固着磨料沥青抛光模对光学元件面形和光洁度的影响，配置了基于三氧化二铁微粉的固着磨料...

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