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IC用全自动装片机

2011年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
IC用全自动装片机是集成电路制造的关键设备，其作用是将切割好的晶元用机械手从wafer上拾取放在框架上，设备特点是拾放过程中的高速度和高精度。由大连佳峰电子有限公司研制的IC用全自动装片机根据我国集成电路制造业的要求，结合我国科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目开展了研究工作，其IC用全自动装片机有以下特征和创新点：
1.自主设计的芯片拾放机构，采用了...
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