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晶片失效图样分析研究

2011年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
半导体领域自动化缺陷管理分析中，多通过神经网络或机器学习完成失效图样的分类，网络模型选择是这类问题研究重点。项目研究将进一步推动晶片失效分类问题的基础理论研究，对提升半导体缺陷失效分析决策效率具有重要意义。
课题通过构建基于晶片区域分割的特征数据库，建立基于区域的同类失效图样检索方法，形成一套Sort bin 和WET测试参数失效图样分类检索系统仿真验证平台。提出采用归...
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