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新硅烷法制备高纯度多晶硅技术

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目采用的是新硅烷工艺。该工艺直接用硅石为原料制备多晶硅，省去了三氯氢硅工艺中冶金硅生产环节，大大降低了能耗。该工艺是上世纪八、九十年底发展起来的，代表多晶硅生产的发展方向，是未来三氯氢硅法的替代工艺。
本研发项目是以多项自主研发的关键工艺技术为基础，对硅烷法进行引进、消化、吸收和再创新，实现了完全闭环生产，无污染、能耗低、成本低、安全性好。
1、...

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