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显示器件用低阻碳化硅单晶材料产业化技术开发

2011年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　显示器件用低阻碳化硅单晶材料产业化技术开发项目，来自于2008年天津市科技支撑计划重大项目专项，是由中国电子科技集团公司第四十六研究所承担的，项目负责人为郝建民。本项目在两年的执行期内投资了1295万元，重点针对如何提高成晶率和降低产品成本，开展低阻碳化硅单晶材料产业化技术的研发，建设出一条仪器设备齐全、配置合理的中试线，达到年产2英寸6H低阻碳化硅单晶抛光片1000片的生产能力，实现小批量生...
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