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氧化锌薄膜加速度传感器的设计

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

氧化锌(ZnO)属于六角晶系6mm点群，具有纤锌矿结构，是一种新型的II～VI族宽禁带半导体材料。集成了IC集成电路放大器的压电加速度传感器直接与显示设备连接，使传统的压电加速度传感器与电荷放大器集成，实现了测试系统简化，提高了检测的精度和可靠性，广泛用于飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击测量中。因此，ZnO薄膜加速度传感器的研制具有重大的理论和实用价值。
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